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모션 스테이지

LM가이드 스테이지

갠트리, 하이브리드, 크로스타입
카탈로그  
설명
- 서브 마이크론 고정도 스테이지 멀티헤드, 다축 시스템
- Z축 옵션

- 표준형 및 전용장비 설계
- 작업영역의 확대: 2,300mm x 5,000mm

- 용도 : FPD, PCB, 전자기기 반도체 생산라인
사양